半導體工業(yè)電子超純水設備方案介紹及問題解決
【純水設備http://www.kelidi.net】半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大
規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,
線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)等級,分別為
18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
2.電子工業(yè)超純水設備特點
電子工業(yè)超純水設備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理
系統(tǒng)、RO 反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI 電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間
水箱、RO 純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水
質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC 可編程控制器實驗室純水設備,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶
要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
3.電子工業(yè)超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
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