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純水設(shè)備知識(shí):工藝?yán)鋮s水管道的選擇

來(lái)源:純水設(shè)備??????2022-09-14 08:59:09??????點(diǎn)擊:
純水設(shè)備http://www.kelidi.net半導(dǎo)體、TFT-LCD等行業(yè)的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)為避免工藝設(shè)備冷卻盤管的結(jié)垢及堵塞,對(duì)工藝?yán)鋮s水水質(zhì)提出了要求。

  以某半導(dǎo)體廠工藝?yán)鋮s水設(shè)計(jì)水質(zhì)為例:電阻率>30 kΩ? cm硬度<0.5德國(guó)度因此工藝?yán)鋮s水管道的選擇主要考慮兩個(gè)方面的要求,一方面是對(duì)水質(zhì)的要求;另一方面是對(duì)管道腐蝕的要求純水設(shè)備。

  工藝?yán)鋮s水管道主要有不銹鋼管道及塑料管道兩種。

1)不銹鋼管道

  根據(jù)工藝?yán)鋮s水的水質(zhì)要求,SS304不銹鋼管即可滿足要求,但是半導(dǎo)體、TFT行業(yè)通常采用純水制備過(guò)程中產(chǎn)生的反滲透(RO)出水作為工藝?yán)鋮s水的補(bǔ)充水源,而RO出水根據(jù)純水制備工藝流程的不同其酸堿度也有所不同。當(dāng)水的pH值呈中性或弱堿性時(shí),可采用SS304不銹鋼,當(dāng)水的pH值呈酸時(shí)(RO出水在不加堿的情況下通常呈酸性),需采用抗酸性好的SS304L不銹鋼。

  根據(jù)不同工程的調(diào)研發(fā)現(xiàn),不銹鋼管道的腐蝕均發(fā)生在接口處及管道的底部。分析其主要原因,接口腐蝕主要在于焊接過(guò)程中未采用氬弧焊接而造成的氧化層破壞,使氧化層下的不銹鋼金屬鉻合物造成腐蝕。管道底部腐蝕主要是由于管道沖洗時(shí)采用自來(lái)水,而自來(lái)水中含有較多的余氯,沖洗后管道內(nèi)的水未及時(shí)排空,造成了在局部管段的集水,當(dāng)管道施工驗(yàn)收完畢后較長(zhǎng)時(shí)間系統(tǒng)未投入運(yùn)行,則容易造成不銹鋼的氯腐蝕,不銹鋼中的氯離子腐蝕是應(yīng)力腐蝕,在“奧氏體不銹鋼-CL”中,溶液中氧的存在是促進(jìn)金屬的鈍化,而氯離子則破壞金屬的鈍化,同時(shí)進(jìn)入裂縫的尖端,構(gòu)成鹽酸,使腐蝕加劇。

  所以不銹鋼管道選擇時(shí)需考慮一定的腐蝕余量,應(yīng)至少選用壁厚等級(jí)為Sch-10S級(jí)的產(chǎn)品,并采用正確的焊接方式,純水設(shè)備且在管道沖洗后應(yīng)將管道內(nèi)的水放空、吹干。

2)塑料管道

  根據(jù)工藝?yán)鋮s水的水質(zhì)要求,PVC管道即可滿足要求。常用的PVC有兩種,硬質(zhì)聚氯乙烯(PVC-U)由聚乙烯單體聚合而成的一種熱塑性高分子化合物;氯化聚氯乙烯(PVC-C)由聚氯乙烯樹脂氯化得到的一種獨(dú)特的聚合物。由于PVC管道有較強(qiáng)的耐腐蝕性,故而即使水質(zhì)呈弱酸、弱堿性,也不會(huì)造成管道的腐蝕。

  但塑料管道需注意工作壓力的問(wèn)題,由于工藝設(shè)備內(nèi)的冷卻管道管徑小而造成了較大的水頭損失,故而,工藝?yán)鋮s循環(huán)水系統(tǒng)的工作壓力較高,在管道的選擇時(shí)應(yīng)根據(jù)應(yīng)力計(jì)算確定管道的壓力等級(jí)。特別需注意的一點(diǎn)是管道的壓力等級(jí)并不等于設(shè)計(jì)管道的允許工作壓力。管道應(yīng)力公式:

式中:P為管道允許的工作壓力(MPa);

          d為管道外徑(mm);

          e為管道壁厚(mm);

          C為設(shè)計(jì)系數(shù);

          σ為管道應(yīng)力(MPa)。

  以PN16 PVC-U管道為例,管徑110 mm×8.1 mm,管道應(yīng)力15.5 MPa,設(shè)計(jì)系數(shù)2.5,液體溫度40℃。


 由此可見(jiàn)雖然管道的壓力等級(jí)為PN16,但該管道的允許工作壓力為9.86 MPa。

  因此,通常選擇Sch80-PVC管應(yīng)用于工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)。Sch-80ASME(美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì))的壁厚標(biāo)準(zhǔn),Sch就是“schedule”,管道的壁厚等級(jí)。Sch是設(shè)計(jì)壓力與設(shè)計(jì)溫度下材料的許用應(yīng)力的比值乘以1000,并經(jīng)圓整的數(shù)值。即:

Sch.=P/〔ó〕t ×1000

式中:P為設(shè)計(jì)壓力(MPa);〔ó〕

  t為設(shè)計(jì)溫度下材料的許用應(yīng)力(Mpa)。

  管道表號(hào)(Sch)并不是壁厚,是一壁厚系列。

  同一管徑,不同的管道表號(hào),其壁厚不同。Sch愈大者管壁愈厚。

  PVC管道存在大口徑管道難以采購(gòu),且施工困難的缺點(diǎn),故而PVC管道通??蓱?yīng)用于小于DN100的支管,純水設(shè)備干管仍采用不銹鋼管,兩種管道采用法蘭連接。由于小管徑的Sch80-PVC管的價(jià)格較不銹鋼管低,故而可節(jié)省投資。

  隨著新型管材的大量推廣和應(yīng)用,在應(yīng)用時(shí)應(yīng)特別 注意管道的腐蝕性問(wèn)題及管道接口問(wèn)題。由于工藝?yán)鋮s水通常采用RO出水或軟化水作為補(bǔ)充水源,其存在一定的腐蝕性,管道內(nèi)壁必須有足夠的抗腐蝕性。很多管道本身抗腐蝕性沒(méi)有問(wèn)題,但管道接口處理不好容易造成接口處的腐蝕。比如,鋼襯不銹鋼管道,接口不能保證水不與非不銹鋼部分的完全隔離;鋼襯塑管道、鋼涂塑管道,無(wú)論是絲扣連接、卡環(huán)連接、溝槽連接還是法蘭連接均不能保證外層金屬與水的完全隔離。

    純水管道的選擇

  電子超純水通常為電阻率>15 MΩ?cm25℃)的純水,而此時(shí)電阻率已經(jīng)不是重要的因素,需根據(jù)其他指標(biāo)的要求進(jìn)行具體分析。

1)管材性能比較

  選擇管材的依據(jù)主要是管道的溶出物(見(jiàn)表1)及內(nèi)表面光潔度。主要應(yīng)用的管道有Clean-PVC管、潔凈PP管、PVDF管幾種。Clean-PVC管采用耐沖擊硬質(zhì)聚氯乙烯制造,其比普通PVC管含有較少的添加劑。從而減小了管道內(nèi)壁的粗糙度(Clean-PVC管的表面粗糙度小于0.37 μm,而普通PVC管的表面粗糙度在1.0 μm)以及污染物的析出。制造商主要有“積水國(guó)際貿(mào)易有限公司(SEKISUI)”、“日本旭有機(jī)材株式會(huì)社(ASAHI AV)”。潔凈PP管材質(zhì)為(β)-PP-H均聚型聚丙烯,具有非常均一、致密的結(jié)構(gòu)和出眾的抗沖擊強(qiáng)度。其高結(jié)晶度確保了極好的耐化學(xué)品性能,二氧化鈦色素的使用進(jìn)一步提高了此特性。其內(nèi)壁粗糙度及污染物的析出性能與Clean-PVC接近。制造商主要有喬治.費(fèi)歇爾管路系統(tǒng)有限公司(+GF+)。PVDF管材質(zhì)為聚偏二氟乙烯,是一種高結(jié)晶度,純水設(shè)備高性能熱塑性塑料,可用溫度/壓力范圍廣。其主要特性是力學(xué)強(qiáng)度高、韌性好、具有優(yōu)異的耐磨性、熱穩(wěn)定性和介電性,其純度高,能熔融成型,對(duì)于大多數(shù)化學(xué)品和溶劑都具有很好的耐腐蝕性、抗紫外線和核輻射性能好、耐候性好、耐生物菌類的作用、氣體和液體阻隔性好、阻燃性好、發(fā)煙量少等優(yōu)點(diǎn)。聚偏二氟乙烯是一種純凈的材料,它不含任何添加劑,且其表面光滑,粗糙度小于0.2μm。制造商主要有喬治?費(fèi)歇爾管路系統(tǒng)有限公司(+GF+)、奧地利AGRU公司。

管材選擇    以幾種典型電子潔凈廠房用純水進(jìn)行比較(見(jiàn)表2)。


 類似于6英寸半導(dǎo)體前工序、TFT-LCD的水質(zhì)可選擇Clean-PVC管或潔凈PP管。

  Clean-PVC管從80年代即應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),現(xiàn)在在純水中得到了廣泛的應(yīng)用。其優(yōu)點(diǎn)在于由于得到了廣泛的應(yīng)用,故而供應(yīng)商都有一定量的庫(kù)存,所以交貨周期較短,安裝技術(shù)也比較簡(jiǎn)單,通常進(jìn)行半天的教室和現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)即可。其缺點(diǎn)在于,管道的粘結(jié)和安裝的質(zhì)量。這也是眾多的半導(dǎo)體廠中有大量的PVC管道系統(tǒng)失效和漏水問(wèn)題的原因。PVC管路系統(tǒng)失效主要是粘結(jié)質(zhì)量不好所造成的,PVC的連接方法主要是膠水粘接,這要求膠水能使粘接部位的表面軟化,軟化部位然后被壓緊,它的粘接質(zhì)量同操作人員的技術(shù)的相關(guān)性非常大,而且不同的人及不同部位的粘接質(zhì)量一致性很差。粘接要求有足夠的膠水被涂上并且均勻性要求非常好,管路和管件的粘接部位要非常干凈且光滑,并且管路要求完全地插入管件。但是由于插入粘接的特性,實(shí)際粘接部位是看不見(jiàn)的,缺陷可能存在,并將對(duì)整個(gè)系統(tǒng)造成極大的風(fēng)險(xiǎn)。

  由于PP是熱熔焊接的,所以沒(méi)有PVC那樣擔(dān)心的沾污,如粘接溶劑和其他有機(jī)溶劑等在PVC管道中經(jīng)常使用的穩(wěn)定劑。純水設(shè)備而這些粘接劑及有機(jī)溶劑會(huì)產(chǎn)生有機(jī)物沾污(TOC)。另外,PP管道的紅外熱熔焊接采用計(jì)算機(jī)控制避免了人工操作的質(zhì)量參差不齊,并能對(duì)焊點(diǎn)進(jìn)行100%的檢查。這使得PP管道相對(duì)于Clean-PVC在安裝質(zhì)量上更有保證。但是PP管道在管路/管件的價(jià)格及安裝費(fèi)用上要高于Clean-PVC

  根據(jù)英特爾遍布全球的封裝測(cè)試廠的報(bào)告,每年都有大量的PVC管路系統(tǒng)失效和漏水問(wèn)題,失效是由多種原因引起的,其中就包括不適當(dāng)?shù)恼辰?,缺少支撐,安裝過(guò)程中沒(méi)有對(duì)準(zhǔn)所引起的沖擊等。因此在英特爾新建的封裝測(cè)試廠已開始廣泛采用潔凈PP管取代Clean-PVC作為首選管材。

  類似于8英寸半導(dǎo)體前工序或更高水質(zhì)要求的以PVDF管道為主。

  如表2所示,8英寸半導(dǎo)體對(duì)純水水質(zhì)指標(biāo)的要求相當(dāng)嚴(yán)格,Clean-PVC及潔凈PP已不能滿足其要求,而PVDF管道的溶出物及管道內(nèi)壁光潔度都遠(yuǎn)強(qiáng)于Clean-PVC及潔凈PP,故而只能選擇PVDF管道。在國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體生產(chǎn)中也有8英寸采用Clean-PVC管道的成功案例,但經(jīng)過(guò)實(shí)測(cè)分析后發(fā)現(xiàn),這類生產(chǎn)廠的產(chǎn)品都是從6英寸升級(jí)至8英寸的,也就是在6英寸純水管道系統(tǒng)運(yùn)行若干年后升級(jí)為8英寸的,而Clean-PVC管路系統(tǒng)經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后,其溶出的離子呈逐步減少的趨勢(shì)。以某電子廠為例,一期廠房純水系統(tǒng)未設(shè)置專門的除TOC紫外線燈,僅依靠制備過(guò)程中對(duì)TOC的去除,在運(yùn)行了若干年后,其回水管道TOC可以達(dá)到15ppm,而二期新建的純水系統(tǒng),設(shè)置了專用的除TOC紫外線燈,在系統(tǒng)開始運(yùn)行階段的站房出口TOC,也只有50 ppm。正是由于這種特性,所以純水系統(tǒng)在投產(chǎn)前需經(jīng)過(guò)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間的沖洗運(yùn)行。所以在從6英寸升級(jí)到8英寸的生產(chǎn)中,經(jīng)過(guò)若干年沖洗的Clean-PVC管道也是有可能達(dá)到使用要求的。而PVDF管道可以在短時(shí)間內(nèi)沖洗到較低的指標(biāo),如表3所示。為了節(jié)省初投資,純水回水管道可以采用Clean-PVC或者潔凈PP管代替PVDF,由于純水回水需經(jīng)過(guò)拋光系統(tǒng)的再次處理,所以即使回水中有較多的溶出物也不影響供水的水質(zhì),只是會(huì)影響拋光系統(tǒng)的維護(hù)費(fèi)用,但長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后維護(hù)費(fèi)用的差別會(huì)逐步減小。

  綜上所述,筆者認(rèn)為,對(duì)水質(zhì)有較高要求的電子潔凈廠房的工藝?yán)鋮s水,管道應(yīng)首選Sch-10S級(jí)不銹鋼管及Sch80-PVC管。

  類似6英寸半導(dǎo)體前工序及TFT-LCD廠房的水質(zhì),可使用Clean-PVC與潔凈PP管道,但潔凈PP在連接方式及施工質(zhì)量上有明顯的優(yōu)勢(shì),故而,潔凈PP管可以代替Clean-PVC在純水系統(tǒng)管道中得到更廣泛的應(yīng)用。

  類似8英寸及12英寸半導(dǎo)體廠房的水質(zhì),需采用PVDF管道作為首選。由6英寸升級(jí)到8英寸半導(dǎo)體水質(zhì)的管道系統(tǒng),可采用已運(yùn)行多年的Clean-PVC管路系統(tǒng)而不必更換成PVDF管路系統(tǒng)。純水設(shè)備,工業(yè)純水設(shè)備蘇州水處理設(shè)備醫(yī)用GMP純化水設(shè)備 ,醫(yī)用水處理設(shè)備。